Torr Scientific Kodial凹型视窗

Torr Scientific Limited是一家成立于1998年的创新型公司，专注于薄膜真空镀膜、真空仪器与光电技术领域。公司提供X射线阳极、超高真空窗口片及抗反射镀膜等产品，所有生产均在洁净室内完成，配备真空炉、氦检漏及精密加工等先进设备。公司已通过ISO9001:2008认证，可为客户提供标准及定制化产品解决方案。

Torr Scientific开发的Kodial凹型视窗是一款专为满足超高真空（UHV）环境下原位观测需求而设计的特种光学组件。与常规平面视窗不同，其独特的管状凹入式结构构成了一个光学通道，能够将显微镜、高分辨率摄像机或其它观测探头直接延伸并定位在真空腔体内部，极大缩短了观测设备与样品或工艺点之间的工作距离。

Kodial凹型视窗的光学元件采用硼硅玻璃，具有良好的可见光至近红外波段透射性。其核心制造工艺包含两个关键步骤：首先通过感应加热将玻璃与Kovar合金焊环进行气密封接；随后通过TIG焊接将此光学组件集成到精密加工的不锈钢管件中。所有成品均经过严格的氦质谱检漏测试与专业清洗，确保满足低于1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec的UHV泄漏标准。

产品特点

• 独特的凹型设计，为显微镜和相机提供进入腔体的通道，实现样品或工艺点的无遮挡、高精度原位观察。
• 采用感应密封与TIG焊接工艺，确保极低泄漏率，适用于需要极高真空度的科研与工业环境。
• 支持高达350°C的烘烤温度，并能承受3°C/分钟的温度变化速率，适合需要高温除气的UHV系统。
• 硼硅玻璃与金属的可靠封接以及全金属结构，确保在严苛环境和反复烘烤循环下的长期性能。
• 支持不同观测深度（E尺寸）、法兰标准（CF、ISO、KF）及材料（304L, 316LN）的定制。

产品应用

• 扫描探针显微镜（SPM）在UHV环境下的样品台观测窗口
• 分子束外延（MBE）、物理气相沉积（PVD）等薄膜生长过程的原位监控
• 表面科学实验中对样品处理（如加热、溅射）过程的实时视觉监测
• 同步辐射或电子显微镜附属真空腔体的观测通道
• 任何需要将光学诊断设备深入真空腔体内部的应用场景