描述
MRC 激光系统 光束指向稳定系统
MRC Systems GmbH成立于1995年，是由德国海德堡大学和德国癌症研究中心（DKFZ）共同成立的，为包括激光和医疗技术等 各个领域开发和生产具有创新性的产品。
经过近30年的发展，MRC公司在世界各地已经成功生产和出售多种激光领域的产品。MRC公司的激光领域的产品主要是光束自准直系统，已获得ISO 13485认证。
光束自准直系统原理：
激光光束的理想位置和角度由一个或两个探测器定义。对于探测来说，通过-反射镜透过或者分光片分出的一小部分激光功率就足够了。闭环控制器连续确定激光光束与目标位置的偏差。该系统连续驱动压电镜架到所需的位置，以补偿偏差。
一个典型的设置如上图所示，其中使用两个压电镜架和两个探测器-在四个维度(4D)上-稳定光束。在此设置中，第一级的压电镜1 / 探测器1-在压电镜2上保持稳定位置。然后，第二级的压电镜2/ 探测器2保证应用处的正确的光束角度。
MRC光束自准直系统的组成及核心器件的介绍
系统优势：
- 该系统能确保总是有一个稳定的光束位置和方向
- 确保准直随着时间的推移始终保持稳定
- 精度优于0.1 μm / 0.1 μrad
- 只需将组件插入到光路中，无需在重新调整过程中花费时间
自带功能：
- 功率水平和位置直接显示在探测器的背面
- 增益可调
- 各种信号输入和输出
- 手动粗调镜座
可选选项：
- 用于单激光脉冲或低重复率应用的采样保持电路
- 目标位置可调
- 真空组件，低至10-11mbar
- 外部触发，Rs232接口
系统特点：
- 模拟的闭环控制，没有延迟和数字化步骤，速度更快、精度更高。
- 一键式开关，不需要参数设置，也可以不需要用电脑来通过软件来控制，使用快速且简单
- 可以不需要-分光片，因为可以利用反射镜本身透过的一小部分激光来探测
- 易于集成到现有的光路系统中-
- 镜架是纯压电驱动的，不会出现因电机启动导致的跳变现象，稳定性更高
- 体积小巧紧凑
性能规格：
- 所有波长:190nm ~ 3000μm，包括太赫兹波段(标准探测器波长范围:320nm ~ 1100nm)
- 所有重复频率：从单脉冲到cw所有脉冲持续时间(as, fs, ps, ns，…)
- 大动态范围：可选WID检测器，强度变化系数>1000
- 高速控制:连续信号处理，无采样延迟
- 分辨率/精度:<0.1 μm;<0.1 μrad(小至10 – 100 nm)
- 镜面直径:0.5至4英寸(根据要求提供其他尺寸)
系统的组成部分
宽带探测器：
| Si4-QD | PSD | Wide-intensity4-QD |
波长范围 | 320-1100 nm | ||
有效面积 | 10×10 mm2 | 9×9 mm2 | 10×10 mm2 |
产品特点 | 最高的横向分辨率 | 目标位置可调 | 高动态强度因子>1000 |
| UV 4-QD Si PIN | IR 4-QD InGaAs | IR 4-QD Germanium | Pyroelectric 4-QD | |
| 波长范围 | 190-1000 nm | 900-1700 nm | 800–2000 nm | 0.1-3000 μm |
| 有效面积 | 3 x 3 mm2 | Ø = 3 mm | Ø = 5 mm | 9 x 9 mm2 |
| 产品特点 | sensor for UV lasers | sensor for NIR lasers | sensor for NIR lasers | UV, vis, IR sensor |
压电镜架：
| P2S30 | P4S30 |
机械调整范围 | 2 mrad(±1mrad) | 4 mrad(±2mrad) |
光学倾斜 | 4 mrad(±2mrad) | 8 mrad(±4mrad) |
镜片尺寸 | 最大可以4英寸 | 最大可以4英寸 |
产品特点 | 带宽高 可测透探测 | 性能高 适合大尺寸反射镜 |
此外，MRC还提供真空环境专用组件，可以为客户提供真空用探测器与镜架，并且可以定制3英寸与4英寸的真空调整架。
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