描述
Torr Scientific
Kodial零长度安全视窗
ITO防静电与铅玻璃X射线防护
Torr Scientific 提供集成ITO防静电涂层与铅玻璃X射线防护层的Kodial零长度视窗,专为电子束、离子束及X射线设备设计,实现UHV环境下的安全观测,消除静电干扰并有效屏蔽辐射,泄漏率<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec。
Torr Scientific Limited是一家成立于1998年的创新型公司,专注于薄膜真空镀膜、真空仪器与光电技术领域。公司提供X射线阳极、超高真空窗口片及抗反射镀膜等产品,所有生产均在洁净室内完成,配备真空炉、氦检漏及精密加工等先进设备。公司已通过ISO9001:2008认证,可为客户提供标准及定制化产品解决方案。
Torr Scientific推出的这款Kodial零长度安全视窗(带ITO涂层与X射线防护铅玻璃),是针对涉及高能粒子束(如电子束、离子束)或X射线应用的超高真空(UHV)系统所开发的高级观测解决方案。它在标准Kodial零长度视窗的卓越性能基础上,集成了两项关键安全功能,以应对复杂实验环境中的特殊挑战。
在视窗的真空侧表面,通过洁净室条件下的磁控溅射工艺镀有透明的导电ITO(氧化铟锡)涂层。该涂层为光学表面提供了良好的导电性,能有效导走并消除因带电粒子轰击或摩擦在视窗内部可能产生的静电积累,防止静电放电对敏感样品或探测器造成干扰或损伤。在视窗的大气侧(即操作人员一侧),额外集成了一块6毫米厚的专用铅玻璃防护片。这块高铅含量的玻璃作为有效的X射线屏蔽层,在保证可见光区足够透光率(550nm处≥85%)的同时,能够显著衰减来自真空腔体内的软X射线辐射,为外部操作人员提供重要的安全防护。
该视窗主体依然采用高品质硼硅玻璃作为光学元件,通过成熟的感应加热工艺与Kovar焊环实现气密封接,再通过氩弧焊(TIG)技术整体焊接至不锈钢法兰。每一件成品均经过严格的氦检漏与UHV标准清洗,确保其核心的真空性能(泄漏率<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec)不受影响,并保持高达350°C的烘烤能力。
产品特点
- ITO涂层消除内部静电,铅玻璃有效屏蔽软X射线,为人员和设备提供双重保护。
- 在添加安全功能的同时,无损核心的真空密封与高温烘烤性能。
- 保持扁平化结构,节省安装空间,适合端口密集或空间受限的系统。
- 铅玻璃在550nm处透光率≥85%,兼顾了安全防护与观测清晰度。
- ITO涂层在洁净室中通过溅射工艺制备,确保均匀性与导电性。
- CF型号提供使用304L或316LN不锈钢法兰。
产品应用
- 扫描电子显微镜(SEM)、聚焦离子束(FIB)系统的样品室观察窗
- 同步辐射光束线实验站、X射线衍射/荧光分析仪的观测窗口
- 等离子体刻蚀、溅射镀膜等涉及带电粒子工艺的真空设备
- 任何在UHV环境下产生软X射线或易产生静电积累,并需要实时光学监控的场景
产品规格:
密封类型 | 感应式 |
焊环材料 | kovar |
涂层 | 氧化铟锡(ITO),窗口真空面 |
最高温度 | 350℃ |
最低温度 | -20℃ |
最大温度变化速率 | 3℃/min |
泄漏率 | <1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec(氦气) |
压力范围 | 1 bar 至 1×10⁻¹¹ mbar |
铅玻璃技术规格表:
光学性能 | 折射率 | 1.76 |
550nm波长透过5mm路径的透光率 | ≥85.0% | |
化学性能 | 铅含量 (Pb) | 48% |
钡含量 (Ba) | 15% | |
机械性能 | 密度 (g/cm³) | 4.8 |
努氏硬度 (kg/mm²) | 440 | |
杨氏模量 (GPa) | 62.7 |
屏蔽特性表:
厚度(mm) | 100kV最小铅当量(mm) | 110kV最小铅当量(mm) | 150kV最小铅当量(mm) | 200kV最小铅当量(mm) | 250kV最小铅当量(mm) | 300kV最小铅当量(mm) |
5-6.5 | 1.7 | 1.6 | 1.5 | 1.3 | 1.3 | 1.3 |
产品示意图:
产品参数:
产品型号 | 法兰类型 | A (mm) | B (mm) | C (mm) | D(mm) (铅玻璃厚度) | 涂层(视窗玻璃真空面) | 示意图 | 法兰材料 |
VPZ16ITOLG | NW16CF | 34 | 15 | 1 | 6 | ITO | CF-1 | 304L |
VPZ16ITOLG-LN | NW16CF | 34 | 15 | 1 | 6 | ITO | CF-1 | 316LN |
VPZ38ITOLG | NW35CF | 70 | 32 | 2.5 | 6 | ITO | CF-1 | 304L |
VPZ38ITOLG-LN | NW35CF | 70 | 32 | 2.5 | 6 | ITO | CF-1 | 316LN |
VPZ64ITOLG | NW63CF | 114 | 63 | 3 | 6 | ITO | CF-1 | 304L |
VPZ64ITOLG-LN | NW63CF | 114 | 63 | 3 | 6 | ITO | CF-1 | 316LN |
VPZ100ITOLG | NW100CF | 152 | 89 | 4 | 6 | ITO | CF-2 | 304L |
VPZ100ITOLG-LN | NW100CF | 152 | 89 | 4 | 6 | ITO | CF-2 | 316LN |
VPZ150ITOLG | NW150CF | 203 | 136 | 6.5 | 6 | ITO | CF-2 | 304L |
VPZ150ITOLG-LN | NW150CF | 203 | 136 | 6.5 | 6 | ITO | CF-2 | 316LN |
联系销售(工作日8:30~17:30)
电话:18058745576
微信:

