Torr Scientific Sapphire蓝宝石零长度视窗 高温稳定性 半导体工艺 高功率激光

联系市场部:17774014546(微信同号)

咨询邮箱:market@spl-tech.cn

Additional information

描述

Torr Scientific

蓝宝石零长度视窗

200°C高温与极端耐用

Torr Scientific 提供采用单晶蓝宝石的零长度视窗,兼具超高机械强度、宽波段透射(深紫外至近红外)及200°C高温稳定性,专为半导体工艺、高功率激光等极端严苛的UHV环境设计。

Torr Scientific Limited是一家成立于1998年的创新型公司,专注于薄膜真空镀膜、真空仪器与光电技术领域。公司提供X射线阳极、超高真空窗口片(UHV Viewports)及抗反射镀膜等产品,所有生产均在洁净室内完成,配备真空炉、氦检漏及精密加工等先进设备。公司已通过ISO9001:2008认证,可为客户提供标准及定制化产品解决方案。

Torr Scientific的200°C蓝宝石零长度视窗专为应对最严苛的超高真空(UHV)、高温、高物理冲击及宽光谱透射需求而设计,其核心光学元件选用高品质单晶蓝宝石(C切向以最小化双折射),这是自然界硬度仅次于金刚石的氧化物晶体。蓝宝石材料赋予了此视窗无与伦比的性能组合:极高的机械强度与耐磨性,可承受剧烈的物理冲击;极低的热膨胀系数,确保在-20°C至200°C的温度剧烈变化下保持尺寸稳定与密封可靠性;以及从深紫外(~150nm)经可见光直至近红外(~5500nm)的卓越宽波段透光性。这些特性使其在高温、存在颗粒溅射或需要紫外观测的应用中,成为熔融石英或硼硅玻璃的理想替代或升级选择。

产品特点

  • 单晶蓝宝石硬度极高,耐磨耐刮擦,抗物理冲击能力强。
  • 低热膨胀系数,工作温度范围-20°C至200°C(CF版),耐热冲击。
  • 透光范围从深紫外(~150nm)覆盖至中红外(~5.5μm),适用性极广。
  • 对大多数酸、碱具有良好抵抗性,适合恶劣化学环境。
  • 零长度设计节省空间,并可提供全无磁构造版本。

产品应用

  • 半导体工艺设备:MOCVD、MBE、等离子体刻蚀等高温、颗粒环境观测窗。
  • 高功率激光系统:作为激光器出光窗口或腔体隔离窗,承受高功率密度。
  • 同步辐射与真空紫外光源:光束线及实验站的宽波段光学元件。
  • 表面科学高温反应池:用于原位观察高温下样品表面反应过程。
  • 任何需要超强耐久性、宽光谱观测或高温稳定性的UHV科研与工业场景。

透射曲线蓝宝石

Sapphire Transmission Curve Torr Scientific,蓝宝石零长度视窗,高温稳定性,半导体工艺,高功率激光

*请注意,光学传输曲线为近似值,仅供参考

产品规格:

密封类型

钎焊

最高温度

200℃(KF和ISO版本为150℃)

最低温度

-20℃

最大温度变化速率

3℃/min

泄漏率

<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec(氦气)

压力范围

1 bar 至 1×10⁻¹¹ mbar

表面质量

60/40 划痕/坑点

平整度

<8λ

产品示意图:

Sapphire AR Window Assembly Diagram Torr Scientific,蓝宝石零长度视窗,高温稳定性,半导体工艺,高功率激光

产品参数:

产品型号

法兰类型

A (mm)

B (mm)

C (mm)

D (mm)

示意图

法兰材料

焊环材料

VPZ16S-200

NW16CF

34

15

1.5

12.5

CF-1

304L

Kovar

VPZ16S-LN-200

NW16CF

34

15

1.5

12.5

CF-1

316LN

Kovar

VPZ16S-NM-200

NW16CF

34

15

1.5

12.5

CF-1

316LN

非磁性

KVPZ16S-200

KF16

30

15

1.5

18

KF-1

304L

Kovar

KVPZ25S-200

KF25

40

20

1.5

18.5

KF-2

304L

Kovar

VPZ23S-200

NW35CF

70

23

1.5

12.7

CF-1

304L

Kovar

VPZ38S-200

NW35CF

70

32

1.5

12.7

CF-3

304L

Kovar

VPZ38LAS-200

NW35CF

70

38

1.5

12.7

CF-2

304L

Kovar

VPZ38S-LN-200

NW35CF

70

32

1.5

12.7

CF-1

316LN

Kovar

VPZ38LAS-LN-200

NW35CF

70

38

1.5

12.7

CF-2

316LN

Kovar

VPZ38S-NM-200

NW35CF

70

32

1.5

12.7

CF-1

316LN

非磁性

KVPZ40-32S-200

KF40

55

32

1.5

12.7

KF-1

304L

Kovar

KVPZ40S-200

KF40

55

38

1.5

18.5

KF-3

304L

Kovar

KVPZ50S-200

KF50

75

38

1.5

15

KF-3

304L

Kovar

VPZ64S-200

NW63CF

114

63

2

17.4

CF-1

304L

Kovar

VPZ64S-LN-200

NW63CF

114

63

2

17.4

CF-1

316LN

Kovar

VPZ64S-NM-200

NW63CF

114

63

2

17.4

CF-1

316LN

非磁性

ISO63SVPZ-200

ISO63

95

38

1.5

12

ISO-1

304L

Kovar

VPZ100S-200

NW100CF

152

89

2.5

19.9

CF-3

304L

Kovar

VPZ100S-LN-200

NW100CF

152

89

2.5

19.9

CF-3

316LN

Kovar

VPZ100S-NM-200

NW100CF

152

89

2.5

19.9

CF-3

316LN

非磁性

ISO100SVPZ-200

ISO100

130

63

2

12

ISO-2

304L

Kovar

VPZ150S-200

NW150CF

203

136

4

22.3

CF-3

304L

Kovar

VPZ150S-LN-200

NW150CF

203

136

4

22.3

CF-3

316LN

Kovar

VPZ150S-NM-200

NW150CF

203

136

4

22.3

CF-3

316LN

非磁性

ISO160SVPZ-200

ISO160

180

89

2.5

12

ISO-3

304L

Kovar

VPZ200S-200

NW200CF

254

136

4

24.5

CF-3

304L

Kovar

 



 

联系销售(工作日8:30~17:30)

电话:18058745576

 微信:

器件部微信二维码 Torr Scientific,蓝宝石零长度视窗,高温稳定性,半导体工艺,高功率激光