熔融石英凹型视窗 VPR系列

Torr Scientific Limited是一家成立于1998年的创新型公司，专注于薄膜真空镀膜、真空仪器与光电技术领域。公司提供X射线阳极、超高真空窗口片（UHV Viewports）及抗反射镀膜等产品，所有生产均在洁净室内完成，配备真空炉、氦检漏及精密加工等先进设备。公司已通过ISO9001:2008认证，可为客户提供标准及定制化产品解决方案。

Torr Scientific熔融石英凹型视窗是一款为极端苛刻环境设计的高性能光学观察窗，其核心功能是为显微镜、高速摄像机等观测设备提供一个可靠的光学通道，使其能够安全、稳定地集成并运行于超高真空（UHV）或真空系统内部，从而实现对真空腔内物理、化学或材料制备过程的实时监测与分析。

Torr Scientific熔融石英凹型视窗采用高纯度、激光级的熔融石英作为光学材料，具备卓越的光学均匀性、精确的平整度与平行度，表面质量达到20-10划痕-坑点标准。其核心制造工艺是将熔融石英光学元件通过真空钎焊技术牢固地固定在Kovar合金焊环中，形成高完整性的光学组件；该组件再通过TIG焊接技术被密封在不锈钢管体组件内。此坚固的密封设计确保了产品能够承受重复的高温烘烤（最高200℃），并长期维持低于1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec的极高真空密封性（氦漏率检测）。TorrScientific熔融石英凹型视窗标准配置为CF法兰（304L不锈钢），同时可根据客户需求定制ISO、KF法兰类型或选用316LN不锈钢材质。此外，还可提供多种抗反射涂层选项，包括针对特定激光波长优化的VAR涂层，可将单面反射率降至0.5%以下，以满足不同光谱范围（深紫外-可见光-近红外）的最高透射率需求。

产品特点

• 极致真空密封：真空钎焊+TIG焊接工艺，泄漏率<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec，确保超高真空环境的长期稳定性。
• 宽光谱高透过：激光级熔融石英材料，提供从深紫外到近红外的宽带透射，适合多种光源和探测器。
• 耐高温可烘烤：坚固设计可承受重复200℃高温烘烤，去除污染物，维持UHV洁净度。
• 高光学精度：光学表面质量20/10，平整度<2λ，保证成像质量，减少像差。
• 灵活配置可选：标准CF法兰，支持ISO/KF定制；可选多种抗反射涂层，优化特定波段性能。
• 卓越机械稳定性：Kovar焊环与熔融石英热膨胀系数匹配，抗热冲击性强。

产品应用

• 超高真空（UHV）系统内部过程监测
• 分子束外延（MBE）设备观察窗
• 同步辐射、粒子加速器光束线
• 表面科学分析仪器
• 半导体工艺设备监控
• 材料科学研究与制备
• 精密镀膜过程监控