描述
Torr Scientific
熔融石英零长度视窗
紧凑型设计 UHV超高真空
Torr Scientific的熔融石英零长度视窗采用紧凑型结构设计，专为空间受限的超高真空系统优化。提供CF/ISO/KF法兰选项，支持200℃烘烤，泄漏率<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec，具有从深紫外到近红外的宽光谱透过率，是精密真空系统的理想选择。
Torr Scientific Limited是一家成立于1998年的创新型公司，专注于薄膜真空镀膜、真空仪器与光电技术领域。公司提供X射线阳极、超高真空窗口片及抗反射镀膜等产品，所有生产均在洁净室内完成，配备真空炉、氦检漏及精密加工等先进设备。公司已通过ISO9001:2008认证，可为客户提供标准及定制化产品解决方案。
Torr Scientific熔融石英零长度视窗代表了超高真空光学接入技术的重要突破，其独特的“零长度”紧凑型结构设计专门针对空间受限的精密真空系统而优化。该视窗采用高纯度激光级熔融石英光学材料，在保持卓越光学性能的同时，最大限度地减少了轴向安装尺寸，为真空腔体的紧凑化设计提供了关键解决方案。
Torr Scientific零长度视窗的核心优势在于其精巧的结构设计。与传统视窗相比，零长度设计显著减少了在真空腔体壁上的安装厚度，这不仅节省了宝贵的空间，还降低了光学系统的整体复杂度和潜在误差源。视窗采用真空钎焊密封技术，确保在1 bar至1×10⁻¹¹ mbar的宽压力范围内保持优异的气密性，泄漏率严格控制在<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec。产品可承受最高200℃（CF法兰）或150℃（KF/ISO法兰）的反复高温烘烤，完全满足超高真空系统的严格净化要求。
在光学性能方面，TorrScientific零长度视窗提供从深紫外（DUV）到可见光再到近红外（NIR）的宽光谱透过特性，确保在各种光谱应用中的优异表现。光学元件经过精密加工，达到λ/8至λ/2的高平整度和20/10的表面质量标准，平行度优于3角分。产品提供完整的法兰接口选择，包括CF、KF和ISO标准，材料可选304L不锈钢或316LN不锈钢，并为需要低磁场干扰的表面科学应用提供采用非磁性焊环的特殊型号。
产品特点
- 最小化轴向安装尺寸，特别适合空间受限的真空系统集成
- 提供CF、KF、ISO全系列法兰接口，满足不同真空标准需求
- 真空钎焊密封，泄漏率<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec，工作压力范围1 bar至1×10⁻¹¹ mbar
- CF法兰支持200℃烘烤，KF/ISO法兰支持150℃烘烤，适应UHV净化流程
- 激光级熔融石英，平整度λ/8至λ/2，平行度<3角分，表面质量20/10
- 支持各种抗反射涂层配置，包括单波长VAR涂层优化
产品应用
- 空间受限的超高真空系统
- 紧凑型光谱分析仪器
- 表面科学分析设备（MBE、STM等）
- 同步辐射光束线站
- 量子光学实验平台
- 半导体工艺设备
- 精密光学测量系统
透射曲线 – 熔融石英
*请注意，光学传输曲线为近似值，仅供参考
产品规格：
密封类型 | 钎焊 |
最高温度 | 200°C（KF及ISO版本为150°C） |
最低温度 | -20°C |
最大温变速率 | 3°C/min |
泄漏率 | <1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec（氦气） |
压力范围 | 1 bar 至 1×10⁻⁹ mbar |
表面质量 | 20/10 划痕/坑点 |
平整度 | VPZ16及以下：钎焊前中央87%光学直径范围内，632.8nm波长下λ/8 |
VPZ38及以上：钎焊前中央87%光学直径范围内，632.8nm波长下λ/2 | |
激光损伤阈值 | 连续波：530nm波长下500W/cm² |
脉冲：530nm波长、10ns脉冲宽度下2J/cm² | |
（注：数值随波长、脉冲宽度、激光类型及光学元件清洁度变化） |
产品示意图
产品参数：
产品型号 | 法兰类型 | A (mm) | B (mm) | C (mm) | D (mm) | 示意图 | 法兰材料 | 焊环材料 |
VPZ16Q | NW16CF | 34 | 15 | 1.5 | 12.5 | CF-1 | 304L | Kovar |
VPZ16Q-LN | NW16CF | 34 | 15 | 1.5 | 12.5 | CF-1 | 316LN | Kovar |
VPZ16Q-NM | NW16CF | 34 | 15 | 1.5 | 12.5 | CF-1 | 316LN | 非磁性 |
VPZ16LAQ | NW16CF | 34 | 15.5 | 1.5 | 9 | CF-1 | 304L | Kovar |
VPZ16LAQ-LN | NW16CF | 34 | 15.5 | 1.5 | 9 | CF-1 | 316LN | Kovar |
KVPZ16Q | KF16 | 30 | 15 | 1.5 | 18 | KF-1 | 304L | Kovar |
KVPZ25Q-16LA | KF25 | 40 | 15.5 | 2 | 9.8 | KF-2 | 304L | Kovar |
VPZ38Q | NW35CF | 70 | 32 | 3 | 12.7 | CF-1 | 304L | Kovar |
VPZ38LAQ | NW35CF | 70 | 38 | 3.5 | 12.7 | CF-2 | 304L | Kovar |
VPZ38Q-LN | NW35CF | 70 | 32 | 3 | 12.7 | CF-1 | 316LN | Kovar |
VPZ38QLA-LN | NW35CF | 70 | 38 | 3.5 | 12.7 | CF-2 | 316LN | Kovar |
VPZ38Q-NM | NW35CF | 70 | 32 | 3 | 12.7 | CF-1 | 316LN | 非磁性 |
KVPZ40-32Q | KF40 | 55 | 32 | 3 | 12.7 | KF-1 | 304L | Kovar |
KVPZ40Q | KF40 | 55 | 38 | 3.5 | 18.5 | KF-2 | 304L | Kovar |
KVPZ50Q | KF50 | 75 | 38 | 3.5 | 15 | KF-3 | 304L | Kovar |
ISO63QVPZ | ISO63 | 95 | 38 | 3.5 | 12 | ISO-1 | 304L | Kovar |
VPZ64Q | NW63CF | 114 | 63 | 4.5 | 17.4 | CF-1 | 304L | Kovar |
VPZ64Q-LN | NW63CF | 114 | 63 | 4.5 | 17.4 | CF-1 | 316LN | Kovar |
VPZ64Q-NM | NW63CF | 114 | 63 | 4.5 | 17.4 | CF-1 | 316LN | 非磁性 |
VPZ100Q | NW100CF | 152 | 89 | 6 | 19.9 | CF-3 | 304L | Kovar |
VPZ100Q-LN | NW100CF | 152 | 89 | 6 | 19.9 | CF-3 | 316LN | Kovar |
VPZ100Q-NM | NW100CF | 152 | 89 | 6 | 19.9 | CF-3 | 316LN | 非磁性 |
ISO100QVPZ | ISO100 | 130 | 63 | 4.5 | 12 | ISO-2 | 304L | Kovar |
VPZ150Q | NW150CF | 203 | 136 | 9.5 | 22.3 | CF-3 | 304L | Kovar |
VPZ150Q-LN | NW150CF | 203 | 136 | 9.5 | 22.3 | CF-3 | 316LN | Kovar |
VPZ150Q-NM | NW150CF | 203 | 136 | 9.5 | 22.3 | CF-3 | 316LN | 非磁性 |
ISO160QVPZ | ISO160 | 180 | 89 | 6 | 12 | ISO-3 | 304L | Kovar |
VPZ200Q | NW200CF | 254 | 136 | 9.5 | 24.5 | CF-3 | 304L | Kovar |
联系销售（工作日8:30~17:30）
电话：18058745576
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