描述
谱镭光电 SPL-PM03C
多通道皮米级激光干涉仪
1pm分辨率 3通道
皮米波长计
杭州谱镭光电技术有限公司的SPL-PM03C多通道皮米级激光干涉仪可进行pm级高速测距，配备3个测量通道，能独立测量3个线性运动自由度，还有多款紧凑光纤探头，适用于多种测量，以及多自由度高精度测量，配合数据接口可作位置传感器精确控制位置。支持线聚焦/聚焦/准直/差分探头及极端环境兼容版本。
SPL-PM03C 多通道皮米级激光干涉仪是杭州谱镭光电技术有限公司（SPL）基于多场科技Fresnel-03系列打造的多通道皮米级高速测距系统。
SPL-PM03C 多通道皮米级激光干涉仪传感系统由四个核心单元组成：控制器、传感器探头及光纤、环境补偿模块、数据通信和软件平台。
传感器探头：
SPL-PM03C 多通道皮米级激光干涉仪支持多种光学传感器探头以匹配目标类型于工作几何构型：
线聚焦型传感器探头(LB-FP-PC-60):
旋转圆柱的偏心/跳动测量;对轴倾斜与旋转具有良好容忍度。
聚焦型传感器探头(FB-FP-PC-60):
在短工作距离、需要严格空间选择性的场景下，对平面镜及小区域特征的检测。
准直型传感器探头(CB-FP-PC-5000):
对平面镜或角锥棱镜的远距离测量;适用于工作距离可变或较长的测量场景。
差分型传感器探头(DF-MI-APC-5000):
直接测量两个目标之间的相对运动(例如运动平台与参考)，抑制共模扰动。
环境补偿单元（ECU）
用于在传感器探头附近检测温度、压强及湿度的紧凑型模块，尺寸为59x23x24mm
核心性能方面，SPL-PM03C 多通道皮米级激光干涉仪具备3个独立测量通道，可同时对3个线性运动自由度进行解算。其位移分辨率在频域分析中达1pm，3年位移准确度优于0.1ppm，周期性非线性误差小于±5nm。系统支持5MHz测量带宽，可追踪最高3.8m/s的运动速度，适配4%–100%的目标反射率。接口支持TCP/IP、BiSS-C及正交模拟信号，便于集成至各类控制系统。
SPL-PM03C 多通道皮米级激光干涉仪提供超高真空、极低温、强磁场兼容版本及OEM灵活定制服务，可广泛应用于超精密加工、纳米定位控制、半导体制造及航空航天等领域的精密位移传感与位置控制。
产品特点
- 皮米级分辨率：实现超高精度位移监测
- 宽频高速响应：5MHz测量带宽，最高8 m/s目标追踪，兼容4-100%反射率。
- 宽测试范围：0-10m测试距离
- 多通道独立测量：3个独立测量通道
- 多类型探头选择：聚焦型、线型、准直型、差分型探头，满足不同测量需求
- 极端环境兼容：提供超高真空、极低温、强磁场兼容版本
- 灵活定制服务：支持OEM定制
应用领域
- 超精密加工与制造中的位移测量与定位控制
- 纳米级定位平台的位置反馈与控制
- 多自由度线性及旋转位移的高精度测量
- 旋转圆柱形物体的偏心测量
- 极端环境（超高真空、极低温、强磁场）下的科研实验
- 半导体制造与检测设备中的精密定位
- 航空航天与国防领域的精密测量
SPL-PM03C参数：
SPL-PM03C | 参数 |
传感器通道 | 3 |
目标类型 | 角锥棱镜、平面镜、圆柱面、不规则曲面 |
工作距离 | 0.01-5 m |
位移分辨率1 | 1 pm |
位移准确度 | <0.1 ppm（3年） |
周期性非线性误差 | <±5 nm |
最大测量运动带宽 | 5 MHz |
最大目标运动速度 | 3.8 m/s |
目标物体反射率 | 4-100% |
ECU数据传输速率 | 10 Sa/s |
1：对周期性位移进行频域分析时
探头参数：
型号 | 线聚焦型探头 (LB-FP-PC-60) | 聚焦型探头 FB-FP-PC-60 | 准直型探头 CB-FP-PC-5000 | 差分型探头 DF-MI-APC-5000 |
光斑尺寸 | 0.05×3.5mm | 0.04mm | 5.4mm | 3.5mm |
焦距 | 60mm(可定制) | 60mm(可定制) | ∞ | – |
发散角 | – | – | 0.4 mrad | 0.4 mrad |
工作距离 | 60±4 mm | 60±2.5 mm | 0-5000mm 可定制至10000mm | 50-5000mm 可定制至10000mm |
工作角度 | ±1° | ±0.8° | ±0.3°平面反射镜 ±16°角锥棱镜 | ±0.08° |
光束形状 | 线聚焦 | 点聚焦 | 圆形 | 圆形 |
尺寸 | 11 x 40 mm | 11 x 29.3 mm | 11 x 33.2 mm | 11 x 36 mm |
重量 | 12.3g | 9.5g | 11.2g | 11.2g |
典型靶面 | 平面反射镜 柱状表面 | 平面反射镜 | 平面反射镜 角锥棱镜 | 平面反射镜 角锥棱镜 |
连接器 | FC/PC | FC/PC | FC/PC | FC/APC |
壳体材料 | 316L无磁不锈钢 | |||
