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一、夏克-哈特曼原理:把“看不见的波前”变成“看得见的斑点”

夏克-哈特曼传感器的核心是一个 微透镜阵列(MLA) ——可以把它想象成一张由几十到几百个小透镜组成的“网格”(如下图1)。

图片1
图1

当一束光射入时,每个小透镜都会把对应区域的光聚焦到探测器上:

·如果入射光是一个完美的平面波(波前平整),所有焦点会排成一个整齐的网格。

·如果波前发生了畸变(比如经过了一个有像差的透镜,或被大气湍流扭曲),每个焦点的位置就会偏离它原本该在的位置。

图片2
图 2结构示意图与测量原理

红点是参考波前经过透镜后的聚焦位置;蓝点是畸变波前的聚焦位置。

通过测量每个光斑相对于参考位置的位移,就可以计算出每个小透镜所对应区域的波前斜率,再通过数值积分或泽尼克多项式拟合,重构出完整的波前形状。

·一句话总结:把“波前畸变”转化为“光斑偏移”,把看不见的相位变成可计算的图像。

二、关键参数解读:灵敏度和动态范围

选择波前传感器时,两个最重要的指标是灵敏度和动态范围。​ 

测量灵敏度(最小可测波前斜率):αmin​=δymin​/fML

其中 δymin 是最小可探测光斑位移,fML 是微透镜焦距。

动态范围(最大可测波前斜率):αmax​=(D/2)/fML​
其中 D 是微透镜直径。

所以得知:

  1. 增大微透镜直径 → 提高动态范围,但会减少测量点数量(空间分辨率下降)
  2. 缩短微透镜焦距 → 提高动态范围,但会降低灵敏度

理想选择:在同时满足动态范围和灵敏度要求的前提下,选择最长焦距的微透镜。

WaveCamD 的微透镜焦距为5.2 mm,在灵敏度和动态范围之间取得了良好的平衡。

三、产品介绍:WaveCamD 波前传感器

WaveCamD 是一款基于Shack-Hartmann 原理的CMOS波前传感器,采用微透镜阵列(MLA)实现对波前的高精度、高分辨率单次测量。其测量波长覆盖250–1150 nm(可选 UV / VIS / NIR 子波段,详见参数表),支持区域(数值)与模态(泽尼克多项式)两种波前重建方法,适用于连续光与脉冲光的波前分析、光束准直、实时对准及像差表征等多种应用。

图片3

软件介绍

DataRay 为 WaveCamD 专门推出了 WaveSight 软件,具备:

“WaveSight 将 DataRay 易用、直观的软件理念带到了波前传感领域。有了 WaveSight 和 WaveCamD,波前测量基本上是即插即用的。”

— Rocco Dragone, CTO, DataRay Inc.

图片4
软件界面图

应用场景:

参数:

参数规格
波长范围(可选)UV: 250–450 nmVIS: 400–900 nmNIR: 750–1350 nm
波前精度λ/30 rms
波前灵敏度λ/100 rms
微透镜阵列镀膜增透膜
微透镜阵列60×60 透镜元,间距150 µm,焦距5.2 mm,9×9 mm孔径
相机分辨率4.2 MPixel,2048 x 2048
相机像素尺寸5.5 x 5.5 µm
快门全局快门,支持 TTL 触发
信噪比2500:1
ADC12-bit
模数转换器12-bit
尺寸,宽 x 高 x 深46.0 x 46.0 x 29.4 mm
安装螺纹8-32 螺纹

如需了解WaveCamD更多技术细节或申请产品资料,欢迎联系杭州谱镭光电。作为DataRay中国区核心代理商,我们深耕光电检测领域近十年,为您提供从产品选型、技术支持到售后保障的全流程服务。

参考文献: