描述
Torr Scientific
熔融石英超高真空视窗
MgF2单层增透膜 MgF2抗反射涂层
Torr Scientific 提供带有单层MgF2抗反射涂层的熔融石英超高真空(UHV)视窗,可在190-1550nm客户指定波长优化透射率,适用于需要宽波段透光、可重复烘烤及低磁场环境的表面科学与光学应用。
Torr Scientific Limited是一家成立于1998年的创新型公司,专注于薄膜真空镀膜、真空仪器与光电技术领域。公司提供X射线阳极、超高真空窗口片(UHV Viewports)及抗反射镀膜等产品,所有生产均在洁净室内完成,配备真空炉、氦检漏及精密加工等先进设备。公司已通过ISO9001:2008认证,可为客户提供标准及定制化产品解决方案。
Torr Scientific的熔融石英超高真空视窗采用激光级高纯度材料,并在两侧镀有单层四分之一波长光学厚度(1x QWOT)的MgF₂抗反射涂层。该涂层可根据客户指定的波长(标准范围190nm至1550nm)进行针对性优化,有效降低特定波段的反射损失,提升系统通光效率。
熔融石英超高真空视窗(带MgF2抗反射涂层)在深紫外至近红外的宽光谱范围内均具备良好的透光性,结构上采用超高真空兼容的金属钎焊密封,确保在1 bar至1×10⁻¹¹ mbar的极端压力范围内保持低于1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec的极低氦泄漏率。法兰可选高等级304L或316LN不锈钢,并为需要低磁场环境的表面科学、量子实验等应用提供无磁版本(采用无磁焊环替代Kovar焊环)。
产品特点
- 单层MgF2 AR涂层可根据客户指定波长(190-1550nm)优化,有效减少特定波段反射。
- 钎焊密封,泄漏率极低,适用于极端真空环境。
- 工作温度-20°C至200°C,可承受3°C/min的温度变化,支持反复烘烤。
- 标准可接受的波长范围为190nm至1550nm
- 无磁选项:专为低磁场敏感实验(如SPM、冷原子实验)设计。
产品应用
- 表面分析仪器的观察窗口
- 同步辐射光束线及真空紫外光谱学
- 量子信息与原子物理实验装置
- 需要烘烤的半导体工艺真空腔体
- 紫外光刻或深紫外激光应用
透射曲线 – 熔融石英

*请注意,光学反射曲线为近似值,仅供参考
产品规格:
密封类型 | 钎焊 |
最高温度 | 200°C |
最低温度 | -20°C |
最大温度变化速率 | 3°C/min |
泄漏率 | <1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec(氦气) |
压力范围 | 1 bar 至 1×10⁻¹¹ mbar |
表面质量 | 20/10 划痕/坑点 |
平整度 | VPZ16:钎焊前中央87%光学直径范围内,632.8nm波长下λ/8 |
VPZ38及以上:钎焊前中央87%光学直径范围内,632.8nm波长下λ/2 | |
镀膜 | 单层1x QWOT ‘AR’增透膜,根据客户指定波长在190nm至1550nm范围内优化 |
产品示意图:
产品参数:
产品型号 | 法兰类型 | A (mm) | B (mm) | C (mm) | D (mm) | 示意图 | 法兰材料 | 焊环材料 |
VPZ16QAR | NW16CF | 34 | 15 | 1.5 | 12.5 | CF-1 | 304L | Kovar |
VPZ16QAR-LN | NW16CF | 34 | 15 | 1.5 | 12.5 | CF-1 | 316LN | Kovar |
VPZ16QAR-NM | NW16CF | 34 | 15 | 1.5 | 12.5 | CF-1 | 316LN | 非磁性 |
VPZ16LAQAR | NW16CF | 34 | 15.5 | 1.5 | 9 | CF-1 | 304L | Kovar |
VPZ16LAQAR-LN | NW16CF | 34 | 15.5 | 1.5 | 9 | CF-1 | 316LN | Kovar |
KVPZ16QAR | KF16 | 30 | 15 | 1.5 | 18 | KF-1 | 304L | Kovar |
KVPZ25QAR | KF25 | 40 | 20 | 2 | 18.5 | KF-1 | 304L | Kovar |
VPZ38QAR | NW35CF | 70 | 32 | 3 | 12.7 | CF-1 | 304L | Kovar |
VPZ38LAQAR | NW35CF | 70 | 38 | 3.5 | 12.7 | CF-2 | 304L | Kovar |
VPZ38QAR-LN | NW35CF | 70 | 32 | 3 | 12.7 | CF-1 | 316LN | Kovar |
VPZ38QLAAR-LN | NW35CF | 70 | 38 | 3.5 | 12.7 | CF-2 | 316LN | Kovar |
VPZ38QAR-NM | NW35CF | 70 | 32 | 3 | 12.7 | CF-1 | 316LN | 非磁性 |
KVPZ40-32QAR | KF40 | 55 | 32 | 3 | 12.7 | KF-1 | 304L | Kovar |
KVPZ40QAR | KF40 | 55 | 38 | 3.5 | 18.5 | KF-2 | 304L | Kovar |
KVPZ50QAR | KF50 | 75 | 38 | 3.5 | 15 | KF-3 | 304L | Kovar |
ISO63QVPZAR | ISO63 | 95 | 38 | 3.5 | 12 | ISO-1 | 304L | Kovar |
VPZ64QAR | NW63CF | 114 | 63 | 4.5 | 17.4 | CF-1 | 304L | Kovar |
VPZ64QAR-LN | NW63CF | 114 | 63 | 4.5 | 17.4 | CF-1 | 316LN | Kovar |
VPZ64QAR-NM | NW63CF | 114 | 63 | 4.5 | 17.4 | CF-1 | 316LN | 非磁性 |
VPZ100QAR | NW100CF | 152 | 89 | 6 | 19.9 | CF-3 | 304L | Kovar |
VPZ100QAR-LN | NW100CF | 152 | 89 | 6 | 19.9 | CF-3 | 316LN | Kovar |
VPZ100QAR-NM | NW100CF | 152 | 89 | 6 | 19.9 | CF-3 | 316LN | 非磁性 |
ISO100QVPZAR | ISO100 | 130 | 63 | 4.5 | 12 | ISO-2 | 304L | Kovar |
VPZ150QAR | NW150CF | 203 | 136 | 9.5 | 22.3 | CF-3 | 304L | Kovar |
VPZ150QAR-LN | NW150CF | 203 | 136 | 9.5 | 22.3 | CF-3 | 316LN | Kovar |
VPZ150QAR-NM | NW150CF | 203 | 136 | 9.5 | 22.3 | CF-3 | 316LN | 非磁性 |
ISO160QVPZAR | ISO160 | 180 | 89 | 6 | 12 | ISO-3 | 304L | Kovar |
VPZ200QAR | NW200CF | 254 | 136 | 9.5 | 24.5 | CF-3 | 304L | Kovar |
联系销售(工作日8:30~17:30)
电话:18058745576
微信:

