Torr Scientific 熔融石英超高真空视窗 MgF2单层增透膜 宽波段透光 低磁场环境

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描述

Torr Scientific

熔融石英超高真空视窗

MgF2单层增透膜 MgF2抗反射涂层

Torr Scientific 提供带有单层MgF2抗反射涂层的熔融石英超高真空(UHV)视窗,可在190-1550nm客户指定波长优化透射率,适用于需要宽波段透光、可重复烘烤及低磁场环境的表面科学与光学应用。

Torr Scientific Limited是一家成立于1998年的创新型公司,专注于薄膜真空镀膜、真空仪器与光电技术领域。公司提供X射线阳极、超高真空窗口片(UHV Viewports)及抗反射镀膜等产品,所有生产均在洁净室内完成,配备真空炉、氦检漏及精密加工等先进设备。公司已通过ISO9001:2008认证,可为客户提供标准及定制化产品解决方案。

Torr Scientific的熔融石英超高真空视窗采用激光级高纯度材料,并在两侧镀有单层四分之一波长光学厚度(1x QWOT)的MgF₂抗反射涂层。该涂层可根据客户指定的波长(标准范围190nm至1550nm)进行针对性优化,有效降低特定波段的反射损失,提升系统通光效率。

熔融石英超高真空视窗(带MgF2抗反射涂层)在深紫外至近红外的宽光谱范围内均具备良好的透光性,结构上采用超高真空兼容的金属钎焊密封,确保在1 bar至1×10⁻¹¹ mbar的极端压力范围内保持低于1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec的极低氦泄漏率。法兰可选高等级304L或316LN不锈钢,并为需要低磁场环境的表面科学、量子实验等应用提供无磁版本(采用无磁焊环替代Kovar焊环)。

产品特点

  • 单层MgF2 AR涂层可根据客户指定波长(190-1550nm)优化,有效减少特定波段反射。
  • 钎焊密封,泄漏率极低,适用于极端真空环境。
  • 工作温度-20°C至200°C,可承受3°C/min的温度变化,支持反复烘烤。
  • 标准可接受的波长范围为190nm至1550nm
  • 无磁选项:专为低磁场敏感实验(如SPM、冷原子实验)设计。

产品应用

  • 表面分析仪器的观察窗口
  • 同步辐射光束线及真空紫外光谱学
  • 量子信息与原子物理实验装置
  • 需要烘烤的半导体工艺真空腔体
  • 紫外光刻或深紫外激光应用

透射曲线 – 熔融石英

Standard AR Coating Transmission Curve Torr Scientific,熔融石英超高真空视窗,MgF2单层增透膜,宽波段透光,低磁场环境

*请注意,光学反射曲线为近似值,仅供参考

产品规格:

密封类型

钎焊

最高温度

200°C

最低温度

-20°C

最大温度变化速率

3°C/min

泄漏率

<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec(氦气)

压力范围

1 bar 至 1×10⁻¹¹ mbar

表面质量

20/10 划痕/坑点

平整度

VPZ16:钎焊前中央87%光学直径范围内,632.8nm波长下λ/8

VPZ38及以上:钎焊前中央87%光学直径范围内,632.8nm波长下λ/2

镀膜

单层1x QWOT ‘AR’增透膜,根据客户指定波长在190nm至1550nm范围内优化

产品示意图:

Sapphire AR Window Assembly Diagram Torr Scientific,熔融石英超高真空视窗,MgF2单层增透膜,宽波段透光,低磁场环境

产品参数:

产品型号

法兰类型

A (mm)

B (mm)

C (mm)

D (mm)

示意图

法兰材料

焊环材料

VPZ16QAR

NW16CF

34

15

1.5

12.5

CF-1

304L

Kovar

VPZ16QAR-LN

NW16CF

34

15

1.5

12.5

CF-1

316LN

Kovar

VPZ16QAR-NM

NW16CF

34

15

1.5

12.5

CF-1

316LN

非磁性

VPZ16LAQAR

NW16CF

34

15.5

1.5

9

CF-1

304L

Kovar

VPZ16LAQAR-LN

NW16CF

34

15.5

1.5

9

CF-1

316LN

Kovar

KVPZ16QAR

KF16

30

15

1.5

18

KF-1

304L

Kovar

KVPZ25QAR

KF25

40

20

2

18.5

KF-1

304L

Kovar

VPZ38QAR

NW35CF

70

32

3

12.7

CF-1

304L

Kovar

VPZ38LAQAR

NW35CF

70

38

3.5

12.7

CF-2

304L

Kovar

VPZ38QAR-LN

NW35CF

70

32

3

12.7

CF-1

316LN

Kovar

VPZ38QLAAR-LN

NW35CF

70

38

3.5

12.7

CF-2

316LN

Kovar

VPZ38QAR-NM

NW35CF

70

32

3

12.7

CF-1

316LN

非磁性

KVPZ40-32QAR

KF40

55

32

3

12.7

KF-1

304L

Kovar

KVPZ40QAR

KF40

55

38

3.5

18.5

KF-2

304L

Kovar

KVPZ50QAR

KF50

75

38

3.5

15

KF-3

304L

Kovar

ISO63QVPZAR

ISO63

95

38

3.5

12

ISO-1

304L

Kovar

VPZ64QAR

NW63CF

114

63

4.5

17.4

CF-1

304L

Kovar

VPZ64QAR-LN

NW63CF

114

63

4.5

17.4

CF-1

316LN

Kovar

VPZ64QAR-NM

NW63CF

114

63

4.5

17.4

CF-1

316LN

非磁性

VPZ100QAR

NW100CF

152

89

6

19.9

CF-3

304L

Kovar

VPZ100QAR-LN

NW100CF

152

89

6

19.9

CF-3

316LN

Kovar

VPZ100QAR-NM

NW100CF

152

89

6

19.9

CF-3

316LN

非磁性

ISO100QVPZAR

ISO100

130

63

4.5

12

ISO-2

304L

Kovar

VPZ150QAR

NW150CF

203

136

9.5

22.3

CF-3

304L

Kovar

VPZ150QAR-LN

NW150CF

203

136

9.5

22.3

CF-3

316LN

Kovar

VPZ150QAR-NM

NW150CF

203

136

9.5

22.3

CF-3

316LN

非磁性

ISO160QVPZAR

ISO160

180

89

6

12

ISO-3

304L

Kovar

VPZ200QAR

NW200CF

254

136

9.5

24.5

CF-3

304L

Kovar

 

 



 

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