Torr Scientific 熔融石英超高真空激光视窗 VAR涂层 240-1550nm UHV环境

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描述

Torr Scientific

熔融石英超高真空激光视窗

VAR涂层 240-1550nm

Torr Scientific熔融石英超高真空激光视窗,专为激光应用设计,镀有VAR抗反射涂层,可在指定激光波长(240-1550nm)将单面反射率降至0.5%以下,保障UHV环境下激光传输的高效率与稳定性。

Torr Scientific Limited是一家成立于1998年的创新型公司,专注于薄膜真空镀膜、真空仪器与光电技术领域。公司提供X射线阳极、超高真空窗口片(UHV Viewports)及抗反射镀膜等产品,所有生产均在洁净室内完成,配备真空炉、氦检漏及精密加工等先进设备。公司已通过ISO9001:2008认证,可为客户提供标准及定制化产品解决方案。

Torr Scientific熔融石英超高真空激光视窗是一款专为满足苛刻激光应用需求而设计的高性能光学元件。它不仅在超高真空(UHV)环境下表现出卓越的可靠性,更关键的是其针对特定激光波长优化的光学特性。该激光视窗采用高纯度、激光级的熔融石英作为基底材料,具备优异的光学均匀性、精确的平整度与平行度,以及高标准的表面质量。

产品的核心优势在于其双侧镀有的专有“VAR”抗反射涂层。该双层VAR涂层可根据客户指定的激光波长(标准范围240nm至1550nm)进行精准优化,从而将单面反射率显著降至0.5%以下,整体透射率极高,能有效减少激光系统中的能量损失和鬼影干扰,保障光束质量。在结构上,熔融石英镜片通过真空钎焊技术被牢固地密封在Kovar合金(或可选的非磁性材料)焊环中,再经由TIG焊接集成到CF法兰、KF法兰或ISO法兰的不锈钢腔体上。这种坚固的真空密封设计确保了视窗能够承受重复的高温烘烤(最高200°C),并始终保持低于1×10⁻¹⁰atm·cc/sec的极低氦漏率,满足最严格的UHV性能要求。Torr Scientific提供从NW16CF到NW200CF等多种规格的超高真空激光视窗,并可针对低磁场应用提供非磁性视窗选项,是表面科学、激光光谱、精密测量等需要UHV环境和高质量激光传输领域的理想选择。

产品特点

  • 超低反射率:双侧VAR抗反射涂层,在客户指定波长(240-1550nm)下单面反射率<0.5%,总反射率<1%。
  • 高激光损伤阈值:支持高功率激光应用,连续波可达500W/cm²,脉冲激光可达2J/cm²(10ns脉宽)。
  • 优异真空性能:真空钎焊密封,泄漏率<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec,工作压力范围1 bar至1×10⁻¹¹ mbar。
  • 宽温度适应性:工作温度-20℃至200℃,可重复高温烘烤,适应UHV系统净化流程。
  • 多种配置可选:提供CF/KF/ISO法兰,304L/316LN不锈钢材料,以及专用于低磁场环境的非磁性型号。
  • 高光学质量:激光级熔融石英,表面质量20/10,高平整度保证激光传输质量。

产品应用

  • 超高真空环境下的激光导入/导出
  • 表面科学分析设备(MBE、STM、AFM)
  • 量子光学与量子计算实验平台
  • 高分辨率激光光谱仪
  • 同步辐射光束线站
  • 半导体工艺激光加工设备
  • 科研级激光显微镜系统

反射率曲线

TorrScientific Fused Silica Laser Viewport Reflectance Curve Torr Scientific,超高真空激光视窗,VAR涂层,240-1550nm,UHV环境

*请注意,光学反射曲线为近似值,仅供参考

产品规格:

密封类型

钎焊

最高温度

200°C

最低温度

-20°C

最大温度变化速率

3°C/min

泄漏率

<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec(氦气)

压力范围

1 bar 至 1×10⁻¹¹ mbar

表面质量

20/10 划痕/坑点

平整度

VPZ16及以下:钎焊前中央87%光学直径范围内,632.8nm波长下λ/8

VPZ38及以上:钎焊前中央87%光学直径范围内,632.8nm波长下λ/2

激光损伤阈值*

连续波:530nm波长下500W/cm²

脉冲:530nm波长、10ns脉冲宽度下2J/cm²

涂层

双层’VAR’涂层,根据客户指定波长在240nm至1550nm范围内优化

*(注意,根据波长、脉冲宽度、激光类型和光学元件的清洁度而有所不同)

产品示意图:

Sapphire AR Window Assembly Diagram Torr Scientific,超高真空激光视窗,VAR涂层,240-1550nm,UHV环境

产品参数:

产品型号

法兰类型

A (mm)

B (mm)

C (mm)

D (mm)

示意图

法兰材料

焊环材料

VPZ16QVAR

NW16CF

34

15

1.5

12.5

CF-1

304L

Kovar

VPZ16QVAR-LN

NW16CF

34

15

1.5

12.5

CF-1

316LN

Kovar

VPZ16QVAR-NM

NW16CF

34

15

1.5

12.5

CF-1

316LN

非磁性

VPZ16LAQVAR

NW16CF

34

15.5

1.5

9

CF-1

304L

Kovar

VPZ16LAQVAR-LN

NW16CF

34

15.5

1.5

9

CF-1

316LN

Kovar

KVPZ16QVAR

KF16

30

15

1.5

18

KF-1

304L

Kovar

KVPZ25QVAR

KF25

40

20

2

18.5

KF-1

304L

Kovar

VPZ38QVAR

NW35CF

70

32

3

12.7

CF-1

304L

Kovar

VPZ38LAQVAR

NW35CF

70

38

3.5

12.7

CF-2

304L

Kovar

VPZ38QVAR-LN

NW35CF

70

32

3

12.7

CF-1

316LN

Kovar

VPZ38QLAVAR-LN

NW35CF

70

38

3.5

12.7

CF-2

316LN

Kovar

VPZ38QVAR-NM

NW35CF

70

32

3

12.7

CF-1

316LN

非磁性

KVPZ40-32QVAR

KF40

55

32

3

12.7

KF-1

304L

Kovar

KVPZ40QVAR

KF40

55

38

3.5

18.5

KF-2

304L

Kovar

KVPZ50QVAR

KF50

75

38

3.5

15

KF-3

304L

Kovar

ISO63QVPZVAR

ISO63

95

38

3.5

12

ISO-1

304L

Kovar

VPZ64QVAR

NW63CF

114

63

4.5

17.4

CF-1

304L

Kovar

VPZ64QVAR-LN

NW63CF

114

63

4.5

17.4

CF-1

316LN

Kovar

VPZ64QVAR-NM

NW63CF

114

63

4.5

17.4

CF-1

316LN

非磁性

VPZ100QVAR

NW100CF

152

89

6

19.9

CF-3

304L

Kovar

VPZ100QVAR-LN

NW100CF

152

89

6

19.9

CF-3

316LN

Kovar

VPZ100QVAR-NM

NW100CF

152

89

6

19.9

CF-3

316LN

非磁性

ISO100QVPZVAR

ISO100

130

63

4.5

12

ISO-2

304L

Kovar

VPZ150QVAR

NW150CF

203

136

9.5

22.3

CF-3

304L

Kovar

VPZ150QVAR-LN

NW150CF

203

136

9.5

22.3

CF-3

316LN

Kovar

VPZ150QVAR-NM

NW150CF

203

136

9.5

22.3

CF-3

316LN

非磁性

ISO160QVPZVAR

ISO160

180

89

6

12

ISO-3

304L

Kovar

VPZ200QVAR

NW200CF

254

136

9.5

24.5

CF-3

304L

Kovar

 

 

 

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