Kodial零长度防静电视窗 ITO导电涂层

Torr Scientific Limited是一家成立于1998年的创新型公司，专注于薄膜真空镀膜、真空仪器与光电技术领域。公司提供X射线阳极、超高真空窗口片及抗反射镀膜等产品，所有生产均在洁净室内完成，配备真空炉、氦检漏及精密加工等先进设备。公司已通过ISO9001:2008认证，可为客户提供标准及定制化产品解决方案。

Torr Scientific 推出的这款带有ITO涂层的Kodial零长度视窗，是针对超高真空（UHV）环境中静电干扰问题而设计的专业化功能组件。在电子显微镜、表面分析仪器、等离子体处理以及涉及带电粒子束的各类实验中，视窗玻璃表面因粒子轰击或摩擦产生的静电积聚可能干扰实验信号、吸附污染物甚至损坏敏感样品。此款产品通过在经典光学结构中集成透明导电层，为这些挑战提供了可靠的解决方案。

带有ITO涂层的Kodial零长度视窗的核心功能创新在于其在朝向真空腔体的一侧，通过洁净室环境下的磁控溅射工艺，镀有一层均匀透明的氧化铟锡（ITO）导电涂层。ITO涂层在保持良好可见光透射性的同时，为玻璃表面提供了有效的导电通道，能够及时导走并中和积累的静电荷，从根本上预防静电放电及相关干扰现象。

产品特点

• 真空侧ITO导电涂层可及时导走静电荷，防止静电积聚对实验造成干扰或损害。
• ITO涂层在可见光波段保持高透明度，不影响正常的观测或光路传输。
• 零长度设计节省空间，全金属焊接结构确保UHV可靠性与350°C烘烤耐受性。
• 涂层在洁净室中通过溅射工艺制备，确保均匀性与导电性能的稳定性。
• 提供CF、KF、ISO法兰，适配绝大多数真空系统标准。

产品应用

• 扫描电子显微镜（SEM）、聚焦离子束（FIB）系统的样品室观察窗
• X射线光电子能谱（XPS）等表面分析仪器的观测端口
• 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、反应离子刻蚀（RIE）等工艺腔体的观察窗
• 涉及电子束焊接、电子束蒸发镀膜等设备的观测与诊断窗口
• 任何在干燥UHV环境中运行且需要对静电进行主动管理的实验装置