描述
Torr Scientific
蓝宝石零长度视窗
200°C高温与极端耐用
Torr Scientific 提供采用单晶蓝宝石的零长度视窗,兼具超高机械强度、宽波段透射(深紫外至近红外)及200°C高温稳定性,专为半导体工艺、高功率激光等极端严苛的UHV环境设计。
Torr Scientific Limited是一家成立于1998年的创新型公司,专注于薄膜真空镀膜、真空仪器与光电技术领域。公司提供X射线阳极、超高真空窗口片(UHV Viewports)及抗反射镀膜等产品,所有生产均在洁净室内完成,配备真空炉、氦检漏及精密加工等先进设备。公司已通过ISO9001:2008认证,可为客户提供标准及定制化产品解决方案。
Torr Scientific的200°C蓝宝石零长度视窗专为应对最严苛的超高真空(UHV)、高温、高物理冲击及宽光谱透射需求而设计,其核心光学元件选用高品质单晶蓝宝石(C切向以最小化双折射),这是自然界硬度仅次于金刚石的氧化物晶体。蓝宝石材料赋予了此视窗无与伦比的性能组合:极高的机械强度与耐磨性,可承受剧烈的物理冲击;极低的热膨胀系数,确保在-20°C至200°C的温度剧烈变化下保持尺寸稳定与密封可靠性;以及从深紫外(~150nm)经可见光直至近红外(~5500nm)的卓越宽波段透光性。这些特性使其在高温、存在颗粒溅射或需要紫外观测的应用中,成为熔融石英或硼硅玻璃的理想替代或升级选择。
产品特点
- 单晶蓝宝石硬度极高,耐磨耐刮擦,抗物理冲击能力强。
- 低热膨胀系数,工作温度范围-20°C至200°C(CF版),耐热冲击。
- 透光范围从深紫外(~150nm)覆盖至中红外(~5.5μm),适用性极广。
- 对大多数酸、碱具有良好抵抗性,适合恶劣化学环境。
- 零长度设计节省空间,并可提供全无磁构造版本。
产品应用
- 半导体工艺设备:MOCVD、MBE、等离子体刻蚀等高温、颗粒环境观测窗。
- 高功率激光系统:作为激光器出光窗口或腔体隔离窗,承受高功率密度。
- 同步辐射与真空紫外光源:光束线及实验站的宽波段光学元件。
- 表面科学高温反应池:用于原位观察高温下样品表面反应过程。
- 任何需要超强耐久性、宽光谱观测或高温稳定性的UHV科研与工业场景。
透射曲线 – 蓝宝石

*请注意,光学传输曲线为近似值,仅供参考
产品规格:
密封类型 | 钎焊 |
最高温度 | 200℃(KF和ISO版本为150℃) |
最低温度 | -20℃ |
最大温度变化速率 | 3℃/min |
泄漏率 | <1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec(氦气) |
压力范围 | 1 bar 至 1×10⁻¹¹ mbar |
表面质量 | 60/40 划痕/坑点 |
平整度 | <8λ |
产品示意图:
产品参数:
产品型号 | 法兰类型 | A (mm) | B (mm) | C (mm) | D (mm) | 示意图 | 法兰材料 | 焊环材料 |
VPZ16S-200 | NW16CF | 34 | 15 | 1.5 | 12.5 | CF-1 | 304L | Kovar |
VPZ16S-LN-200 | NW16CF | 34 | 15 | 1.5 | 12.5 | CF-1 | 316LN | Kovar |
VPZ16S-NM-200 | NW16CF | 34 | 15 | 1.5 | 12.5 | CF-1 | 316LN | 非磁性 |
KVPZ16S-200 | KF16 | 30 | 15 | 1.5 | 18 | KF-1 | 304L | Kovar |
KVPZ25S-200 | KF25 | 40 | 20 | 1.5 | 18.5 | KF-2 | 304L | Kovar |
VPZ23S-200 | NW35CF | 70 | 23 | 1.5 | 12.7 | CF-1 | 304L | Kovar |
VPZ38S-200 | NW35CF | 70 | 32 | 1.5 | 12.7 | CF-3 | 304L | Kovar |
VPZ38LAS-200 | NW35CF | 70 | 38 | 1.5 | 12.7 | CF-2 | 304L | Kovar |
VPZ38S-LN-200 | NW35CF | 70 | 32 | 1.5 | 12.7 | CF-1 | 316LN | Kovar |
VPZ38LAS-LN-200 | NW35CF | 70 | 38 | 1.5 | 12.7 | CF-2 | 316LN | Kovar |
VPZ38S-NM-200 | NW35CF | 70 | 32 | 1.5 | 12.7 | CF-1 | 316LN | 非磁性 |
KVPZ40-32S-200 | KF40 | 55 | 32 | 1.5 | 12.7 | KF-1 | 304L | Kovar |
KVPZ40S-200 | KF40 | 55 | 38 | 1.5 | 18.5 | KF-3 | 304L | Kovar |
KVPZ50S-200 | KF50 | 75 | 38 | 1.5 | 15 | KF-3 | 304L | Kovar |
VPZ64S-200 | NW63CF | 114 | 63 | 2 | 17.4 | CF-1 | 304L | Kovar |
VPZ64S-LN-200 | NW63CF | 114 | 63 | 2 | 17.4 | CF-1 | 316LN | Kovar |
VPZ64S-NM-200 | NW63CF | 114 | 63 | 2 | 17.4 | CF-1 | 316LN | 非磁性 |
ISO63SVPZ-200 | ISO63 | 95 | 38 | 1.5 | 12 | ISO-1 | 304L | Kovar |
VPZ100S-200 | NW100CF | 152 | 89 | 2.5 | 19.9 | CF-3 | 304L | Kovar |
VPZ100S-LN-200 | NW100CF | 152 | 89 | 2.5 | 19.9 | CF-3 | 316LN | Kovar |
VPZ100S-NM-200 | NW100CF | 152 | 89 | 2.5 | 19.9 | CF-3 | 316LN | 非磁性 |
ISO100SVPZ-200 | ISO100 | 130 | 63 | 2 | 12 | ISO-2 | 304L | Kovar |
VPZ150S-200 | NW150CF | 203 | 136 | 4 | 22.3 | CF-3 | 304L | Kovar |
VPZ150S-LN-200 | NW150CF | 203 | 136 | 4 | 22.3 | CF-3 | 316LN | Kovar |
VPZ150S-NM-200 | NW150CF | 203 | 136 | 4 | 22.3 | CF-3 | 316LN | 非磁性 |
ISO160SVPZ-200 | ISO160 | 180 | 89 | 2.5 | 12 | ISO-3 | 304L | Kovar |
VPZ200S-200 | NW200CF | 254 | 136 | 4 | 24.5 | CF-3 | 304L | Kovar |
联系销售(工作日8:30~17:30)
电话:18058745576
微信:

