Torr Scientific Kodial零长度视窗 紧凑型UHV扁平观察窗

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描述

Torr Scientific

Kodial零长度视窗

紧凑型UHV扁平观察窗

Torr Scientific的Kodial零长度视窗采用扁平化设计,安装时几乎不占用轴向空间,专为空间受限的UHV系统优化。采用硼硅玻璃,支持高达350°C烘烤,泄漏率<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec,是紧凑型真空腔体观测的理想选择。

Torr Scientific Limited是一家成立于1998年的创新型公司,专注于薄膜真空镀膜、真空仪器与光电技术领域。公司提供X射线阳极、超高真空窗口片及抗反射镀膜等产品,所有生产均在洁净室内完成,配备真空炉、氦检漏及精密加工等先进设备。公司已通过ISO9001:2008认证,可为客户提供标准及定制化产品解决方案。

Torr Scientific 推出的Kodial零长度视窗,是针对空间布局极为苛刻的超高真空(UHV)系统而精心设计的解决方案。其核心设计理念在于“零长度”——通过高度扁平化的结构,将视窗的整体厚度降至最低,使其在安装时几乎不额外占用真空腔体的轴向空间,从而为紧凑型设备布局、多端口密集配置或内部空间受限的系统提供了极大的灵活性。

Kodial零长度视窗的光学部分采用高品质硼硅玻璃,提供从可见光到近红外波段的良好透射率。其制造工艺遵循严格的UHV标准:首先通过感应加热工艺将玻璃与Kovar合金焊环进行可靠的气密封接;随后,使用氩弧焊(TIG)将此密封组件精密焊接到不锈钢法兰上,形成坚固的一体化结构。每一件成品都需经过氦质谱仪严格检漏和专业清洗流程,确保其泄漏率低于1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec。

产品特点

  • 独特的扁平化“零长度”设计,极大减少安装厚度,解决紧凑型设备的空间瓶颈。
  • 感应密封与TIG焊接工艺保证极低泄漏率,满足最严格的UHV应用要求。
  • CF版本支持350°C高温烘烤,KF版本支持150°C,具备良好的热循环稳定性。
  • 提供CF、KF、ISO多种标准法兰接口,适配广泛的真空系统。
  • 全金属焊接结构,确保在长期使用和反复烘烤下的机械强度与密封可靠性。

产品应用

  • 空间紧凑的台式或模块化超高真空实验装置
  • 多端口科学仪器(如光谱仪、粒子探测器)的观测窗口
  • 半导体工艺设备中需要密集布局的监控视窗
  • 对系统总长度有严格限制的过渡腔体或传输管线
  • 任何需要在有限空间内实现可靠真空观测的场合



传输曲线 – Kodial

Kodial Transmission Curve Torr Scientific,零长度视窗,Kodial,UHV扁平观察窗

*请注意,光学传输曲线为近似值,仅供参考

产品规格:

密封类型

感应

最高温度

350℃ (KF版本150℃)

最低温度

-20℃

最大温度变化速率

3℃/min

泄漏率

<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec (氦气)

压力范围

1 bar 至 1×10⁻¹¹ mbar

产品示意图:

Fused Silica UHV Window with BBAR Viewport Diagram Torr Scientific,零长度视窗,Kodial,UHV扁平观察窗

产品参数:

产品型号

法兰类型

A (mm)

B (mm)

C (mm)

D (mm)

示意图

法兰材料

焊环材料

VPZ16

NW16CF

34

15

1

12.5

CF-1

304L

Kovar

VPZ16-LN

NW16CF

34

15

1

12.5

CF-1

316LN

Kovar

KVPZ16

KF16

30

15

1

18

KF-1

304L

Kovar

KVPZ25-16LA

KF25

40

15.5

1.5

9.8

KF-2

304L

Kovar

VPZ38

NW35CF

70

32

2.5

12.7

CF-1

304L

Kovar

VPZ38LA

NW35CF

70

38

3.25

12.7

CF-2

304L

Kovar

VPZ38-LN

NW35CF

70

32

2.5

12.7

CF-1

316LN

Kovar

VPZ38LA-LN

NW35CF

70

38

3.25

12.7

CF-2

316LN

Kovar

KVPZ40LA

KF40

55

38

3.25

18.5

KF-3

304L

Kovar

KVPZ50

KF50

75

38

3.25

15

KF-3

304L

Kovar

VPZ50

NW50CF

86

38

3.25

16

CF-2

304L

Kovar

ISO63VPZ

ISO63

95

38

3.25

12

ISO-1

304L

Kovar

VPZ64

NW63CF

114

63

3

17.4

CF-1

304L

Kovar

VPZ64LA

NW63CF

114

65

3.5

17.4

CF-2

304L

Kovar

VPZ64-LN

NW63CF

114

63

3

17.4

CF-1

316LN

Kovar

VPZ100

NW100CF

152

89

4

19.9

CF-3

304L

Kovar

VPZ100-LN

NW100CF

152

89

4

19.9

CF-3

316LN

Kovar

ISO100VPZ

ISO100

130

63

3

12

ISO-2

304L

Kovar

VPZ150

NW150CF

203

136

6.5

22.3

CF-3

304L

Kovar

VPZ150-LN

NW150CF

203

136

6.5

22.3

CF-3

316LN

Kovar

ISO160VPZ

ISO160

180

89

4

12

ISO-3

304L

Kovar

VPZ200

NW200CF

254

136

6.5

24.5

CF-3

304L

Kovar

 

 

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