Torr Scientific Kodial凹型视窗
用于UHV腔体内原位观测
Torr Scientific提供Kodial凹型视窗，专为UHV系统设计，可将显微镜或摄像机深入真空腔体，实现近距离原位观测。产品采用硼硅玻璃，支持高温烘烤至350°C，泄漏率<1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec，是表面科学与真空工艺原位监测的理想窗口。
Torr Scientific Limited是一家成立于1998年的创新型公司，专注于薄膜真空镀膜、真空仪器与光电技术领域。公司提供X射线阳极、超高真空窗口片及抗反射镀膜等产品，所有生产均在洁净室内完成，配备真空炉、氦检漏及精密加工等先进设备。公司已通过ISO9001:2008认证，可为客户提供标准及定制化产品解决方案。
Torr Scientific开发的Kodial凹型视窗是一款专为满足超高真空（UHV）环境下原位观测需求而设计的特种光学组件。与常规平面视窗不同，其独特的管状凹入式结构构成了一个光学通道，能够将显微镜、高分辨率摄像机或其它观测探头直接延伸并定位在真空腔体内部，极大缩短了观测设备与样品或工艺点之间的工作距离。
Kodial凹型视窗的光学元件采用硼硅玻璃，具有良好的可见光至近红外波段透射性。其核心制造工艺包含两个关键步骤：首先通过感应加热将玻璃与Kovar合金焊环进行气密封接；随后通过TIG焊接将此光学组件集成到精密加工的不锈钢管件中。所有成品均经过严格的氦质谱检漏测试与专业清洗，确保满足低于1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec的UHV泄漏标准。
产品特点
产品应用
产品规格：
密封类型 | 感应式 |
最高温度 | 350℃ |
最低温度 | -20℃ |
最大温度变化速率 | 3℃/min |
泄漏率 | <1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec（氦气） |
压力范围 | 1 bar 至 1×10⁻¹¹ mbar |
产品参数：
产品型号 | 法兰类型 | A (mm) | B (mm) | C (mm) | D (mm) | E (mm) | 法兰材料 | 焊环材料 |
VPR38-111 | NW35CF | 70 | 15 | 22.2 | 18.2 | 111 | 304L | Kovar |
VPR64-138 | NW63CF | 114 | 32 | 50.8 | 47.5 | 138 | 304L | Kovar |
VPR64-38-80 | NW63CF | 114 | 32 | 50.8 | 47.5 | 80 | 304L | Kovar |
VPR100-201 | NW100CF | 152 | 63 | 89 | 83 | 201 | 304L | Kovar |
VPR150-330 | NW150CF | 203 | 63 | 108 | 102 | 330 | 304L | Kovar |
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