谱镭光电显微拉曼系统:助力先进半导体材料锗薄膜PECVD制备评估本研究展示了一种由锡辅助的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)策略,用于在柔性聚酰亚胺(PI)基底上生长结晶态锗薄膜。实验使用的拉曼显微设备来自杭州谱镭光电技术有限公司的ProSp-Micro 2000−785